MOCVD设备 托盘感应加热系统 技术规范
CSA标委会 2024.04.01 T/CSA 092-2024 V01.00 已发布本文件按照GB/T 1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
本文件由中关村半导体照明工程研发及产业联盟(CSA)标准化委员会(CSAS)制定发布,版权归CSA所有,未经CSA许可不得随意复制;其他机构采用本文件的技术内容制定标准需经CSA允许;任何单位或个人引用本文件的内容需指明本文件的标准号。
请注意本文件在某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件起草单位:中微半导体设备(上海)股份有限公司、中关村半导体照明联合创新重点实验室、厦门三安光电有限公司、东莞市志橙半导体材料有限公司、北京大学、晶能光电股份有限公司、安泰天龙钨钼科技有限公司、北京大学东莞光电研究院、中国科学院半导体研究所、中国科学院重庆绿色智能技术研究院、中国计量大学、广东省东莞市质量监督检测中心。
本文件主要起草人:李勇志、郭世平、金文彬、姜勇、徐圆圆、余湛、刘建明、朱佰喜、陈兆营、涂逵、陈福鸽、刘强、胡国新、陆文强、李本亮、徐苏楠。
苏州晶湛半导体有限公司张丽旸总监、四川英杰电气股份有限公司吴强经理等为本文件的撰写提供了大量支持,在此一并表示感谢。
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