2024年3月29日，由中微半导体设备（上海）股份有限公司提交的《MOCVD设备气体管路加热系统应用技术规范》标准提案已通过CSAS管理委员会及技术咨询委员会审核正式立项，联盟标准编号为T/CSA 093。

CSA标委会秘书处在全体成员范围内征集起草小组成员，截止日期：2024年4月12日。

CSAS秘书处将组织、推进工作进展，牵头单位负责主持标准内容起草。