本文件拟规定使用白光干涉法测试异质外延氮化镓外延层厚度的方法。

适用于异质外延氮化镓外延层厚度的测试，测试范围为20纳米～70微米。

T/CSA 102-202x《异质外延氮化镓外延层厚度测试 白光干涉法》起草编制小组征集截止时间为：2024年11月25日。反馈邮箱为：csas@china-led.net 。