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异质外延氮化镓外延层厚度测试 白光干涉法

CSA标委会 2024.11.07 T/CSA 102-202X 委员会草案

由北京大学东莞光电研究院牵头起草的标准T/CSA 102-202x《 异质外延氮化镓外延层厚度测试 白光干涉法》已形成委员会草案,目前正在CSAS正式成员范围内进行委员会草案(报批稿)投票,10月13日截止。